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研究方向

  • 产业转化
    研究院以产业发展为导向，以行业需求为牵引，致力于将量子精密测量、量子调控技术等科研技术成果在量子科技、高端仪器、生命科学等领域进行产业转化。目前已形成如下方面的产业转化成果。
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  • 电子束光刻机
    电子束光刻机（EBL）是一种扫描电子聚焦束在电子敏感的光刻胶覆盖的表面上绘制自定义形状的微纳加工设备，其特点是可以直接写入小于10nm线宽的芯片图案，广泛应用于芯片研发、先进制程光掩膜版制备等。
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  • 生命科学设备
    在生命科学领域，开展单细胞级别的量子增强型生物标志物高灵敏检测技术，为细胞代谢表征、神经细胞电生理成像分析、流式细胞成像等一系列“量子+生命科学”交叉创新提供解决方案。
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